產品描述
邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學機械研磨（chemical mechanical polishing眠蚂，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇煞聪，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾逝慧∥舾可有效去除slurry中的團聚顆粒和膠體雜質。此外笛臣，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設計大幅度提高了過濾面積和納污容量云稚，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。
產品特點
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寬幅深層折疊使其具備超低的壓損和更長的使用壽命
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較大的過濾面積捐祠，結合漸變的錐形孔結構碱鳞，使剪切力最小化
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漸變孔徑實現分級過濾，攔截大顆粒并放行有效研磨顆粒
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在潔凈車間生產踱蛀、測試和包裝窿给，確保產品潔凈度
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采用熱熔焊接技術贵白，確保無污染
典型應用
產品保證
工作特性
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 外殼/中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精 度 | 0.8μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm, 15.0μm | |
| 尺寸規(guī)格 | 外徑 | 69mm |
| 長度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) |
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
產品尺寸
| 標稱尺寸 | A | B | C |
| 10” | 263.0±2mm | 249.0±2mm | 239.5±2mm |
| 20” | 511.0±2mm | 497.0±2mm | 487.5±2mm |
流量-壓差曲線圖
訂購信息
| CMPP | 精度 | 端蓋 | 直徑 | 長度 | 密封圈 | 潔凈度 | 包裝方式 |
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008 (0.8μm) 010 (1.0μm) 015 (1.5μm) 030 (3.0μm) 050 (5.0μm) 100 (10μm) 150 (15μm) |
N（222 平頭） F（雙開口密封墊） |
S（直徑=69mm） |
10 (10”) 20 (20”) |
P (EPDM) | E（Electronic） |
D (干包裝) W (超純水預潤濕包裝) |